9025 8040 30
Elektronische barometrische halfgeleiderdruksensor in een behuizing, hoofdzakelijk bestaande uit:
- een combinatie van een of meer monolithische toepassingsspecifieke geïntegreerde schakelingen (ASIC's) en
- ten minste een of meer micro-elektromechanische sensorelementen (MEMS) vervaardigd met behulp van halfgeleidertechnologie, met mechanische componenten
geplaatst in driedimensionele structuren op het halfgeleidermateriaal
› Omschrijving
Elektronische densimeters, areometers, vochtwegers e.d. drijvende instrumenten, hygrometers en psychrometers, alsmede combinaties van deze instrumenten onderling of met thermometers of barometers